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    2022/05/03

    產品中心

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    設備制造

    1、蒸發臺

    用途:

    應用于半導體、LED制造中正面鍍金屬及背面金屬化。適用于科研院所、大學、半導體行業、LED行業。

    產品特點:

    n              滿足高產出、高精度、高可靠的要求

    n              最佳化蒸鍍腔及抽氣系統設計

    n              獨特的夾具設計,可靠性極佳,對于薄硅片,能有效的減少碎片率

    n              合理的外觀設計,有效的減少空間,降低潔凈廠房的空間成本全自動化設計,減少人為干預的不確定因素所帶來的產品質量風險,滿足FAB日益增長的自動化需求

    n              蒸鍍過程參數的全程記錄,對異常及失效分析提供可靠的追述

    n              根據客戶工藝流程量身定制控制系統


    技術參數:

    裝片量

    5寸/42片,6寸/24片

    抽速

    30min內到 2E-6 Torr

    極限真空

    2小時內 2.0E-7Torr

    漏率

    5.00E-05

    膜厚均勻性

    <10%,33000A
    100個樣片值統計值(1%)

    反射率

    220(33KA AL)

    加熱穩定性

    +1°C,過沖3°C(設定150°C)

    自動化控制系統

    HMI+PLC(可選PC+PLC)

    數據記錄

    保存3月以上

    電氣需求

    380VAC 3相5線,50HZ,100A,(電壓可選208V)

    E-Gun功率

    8KW(10KW可選)

    真空泵

    冷泵+旋轉葉片式油泵

    CDA需求

    >80PSI

    N2需求

    >20PSI

    冷卻水需求

    1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min

    尺寸(寬X深X高)

    1640X1700X1800(所有部件都包含在框架內,不再需要額外的空間)

    重量

    750Kg

    產品優點:

     1、對行星架的加工精度降低:

    MARK50方式若行星架邊緣角度、圓度要求很高,稍有變形就產生振動,對薄片容易產生裂紋,行星架的壽命短。

    2、對軌道的要求降低:

    MARK50對軌道有角度、平整度的、水平度要求很高,加工精度不到位,行星架容易產生振動

    3、對驅動三角架的要求降低:

    MARK50對驅動三角架與軌道之間的安裝配合要求很高:

    三角架轉動的軸線與軌道中心的軸線要一直,不然會產生振動,行星架之間打架,轉動過程中行星架會掉落

    4、對驅動桿的要求:

    MARK50對驅動桿的角度,長度,之間的垂直度有很高的要求,不然行星架振動很大

    性能比較:

    項目

    本機

    MARK50

    ULVAC EI-5Z

    備注

    裝片量

    42

    42

    24

    產出根據工藝不同有所差

    抽速

    30min

    30min

    50min

    達到2.0E-6Torr

    極限真空

    2.0E-7Torr

    5.0E-7Torr

    5.0E-7Torr

    4小時

    漏率

    5.00E-05

    3.00E-03


    torr/min

    膜厚均勻性

    <10%(1%),33000A
    8個樣片統計值

    <10%(6.25%),17000A,
    100
    個SPC片的統計值

    <10%(8.63%)8500A 100個SPC片統計值


    反射率

    220

    209

    201

    AL 33KA,工藝條件相同

    行星架旋轉

    平穩,無噪聲

    振動大,有噪聲
    會掉行星架

    平穩,無噪聲


    加熱穩定性

    +1°C,過沖3°C

    ±5°C,過沖10°C

    ±2°C,過沖5°C

    設定溫度150°C

    控制方式

    觸摸屏+PLC,自動

    按鈕,手動

    PC機+PLC,自動


    數據記錄



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