設備制造
1、蒸發臺
用途:
應用于半導體、LED制造中正面鍍金屬及背面金屬化。適用于科研院所、大學、半導體行業、LED行業。
產品特點:
n 滿足高產出、高精度、高可靠的要求
n 最佳化蒸鍍腔及抽氣系統設計
n 獨特的夾具設計,可靠性極佳,對于薄硅片,能有效的減少碎片率
n 合理的外觀設計,有效的減少空間,降低潔凈廠房的空間成本全自動化設計,減少人為干預的不確定因素所帶來的產品質量風險,滿足FAB日益增長的自動化需求
n 蒸鍍過程參數的全程記錄,對異常及失效分析提供可靠的追述
n 根據客戶工藝流程量身定制控制系統
技術參數:
裝片量 | 5寸/42片,6寸/24片 |
抽速 | 30min內到 2E-6 Torr |
極限真空 | 2小時內 2.0E-7Torr |
漏率 | 5.00E-05 |
膜厚均勻性 | <10%,33000A 100個樣片值統計值(1%) |
反射率 | 220(33KA AL) |
加熱穩定性 | +1°C,過沖3°C(設定150°C) |
自動化控制系統 | HMI+PLC(可選PC+PLC) |
數據記錄 | 保存3月以上 |
電氣需求 | 380VAC 3相5線,50HZ,100A,(電壓可選208V) |
E-Gun功率 | 8KW(10KW可選) |
真空泵 | 冷泵+旋轉葉片式油泵 |
CDA需求 | >80PSI |
N2需求 | >20PSI |
冷卻水需求 | 1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min |
尺寸(寬X深X高) | 1640X1700X1800(所有部件都包含在框架內,不再需要額外的空間) |
重量 | 750Kg |
產品優點:
1、對行星架的加工精度降低:
MARK50方式若行星架邊緣角度、圓度要求很高,稍有變形就產生振動,對薄片容易產生裂紋,行星架的壽命短。
2、對軌道的要求降低:
MARK50對軌道有角度、平整度的、水平度要求很高,加工精度不到位,行星架容易產生振動
3、對驅動三角架的要求降低:
MARK50對驅動三角架與軌道之間的安裝配合要求很高:
三角架轉動的軸線與軌道中心的軸線要一直,不然會產生振動,行星架之間打架,轉動過程中行星架會掉落
4、對驅動桿的要求:
MARK50對驅動桿的角度,長度,之間的垂直度有很高的要求,不然行星架振動很大
性能比較:
項目 | 本機 | MARK50 | ULVAC EI-5Z | 備注 |
裝片量 | 42片 | 42片 | 24片 | 產出根據工藝不同有所差異 |
抽速 | 30min | 30min | 50min | 達到2.0E-6Torr |
極限真空 | 2.0E-7Torr | 5.0E-7Torr | 5.0E-7Torr | 4小時 |
漏率 | 5.00E-05 | 3.00E-03 |
| torr/min |
膜厚均勻性 | <10%(1%),33000A 8個樣片統計值 | <10%(6.25%),17000A, 100個SPC片的統計值 | <10%(8.63%)8500A 100個SPC片統計值 |
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反射率 | 220 | 209 | 201 | AL 33KA,工藝條件相同 |
行星架旋轉 | 平穩,無噪聲 | 振動大,有噪聲 會掉行星架 | 平穩,無噪聲 |
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加熱穩定性 | +1°C,過沖3°C | ±5°C,過沖10°C | ±2°C,過沖5°C | 設定溫度150°C |
控制方式 | 觸摸屏+PLC,自動 | 按鈕,手動 | PC機+PLC,自動 |
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數據記錄 | 有 | 無 | 有 |
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