設備制造

1、蒸發臺

用途：

應用于半導體、LED制造中正面鍍金屬及背面金屬化。適用于科研院所、大學、半導體行業、LED行業。

產品特點：

n              滿足高產出、高精度、高可靠的要求

n              最佳化蒸鍍腔及抽氣系統設計

n              獨特的夾具設計，可靠性極佳，對于薄硅片，能有效的減少碎片率

n              合理的外觀設計，有效的減少空間，降低潔凈廠房的空間成本全自動化設計，減少人為干預的不確定因素所帶來的產品質量風險，滿足FAB日益增長的自動化需求

n              蒸鍍過程參數的全程記錄，對異常及失效分析提供可靠的追述

n              根據客戶工藝流程量身定制控制系統

技術參數：

產品優點：

 1、對行星架的加工精度降低：

MARK50方式若行星架邊緣角度、圓度要求很高，稍有變形就產生振動，對薄片容易產生裂紋，行星架的壽命短。

2、對軌道的要求降低：

MARK50對軌道有角度、平整度的、水平度要求很高，加工精度不到位，行星架容易產生振動

3、對驅動三角架的要求降低：

MARK50對驅動三角架與軌道之間的安裝配合要求很高：

三角架轉動的軸線與軌道中心的軸線要一直，不然會產生振動，行星架之間打架，轉動過程中行星架會掉落

4、對驅動桿的要求：

MARK50對驅動桿的角度，長度，之間的垂直度有很高的要求，不然行星架振動很大

性能比較：